சிவராத்திரி அன்று கண்விழித்து விரதம் இருந்து, சிவபூஜை செய்ய வேண்டும். தூய ஆடைகளை அணிந்து கொண்டு, திருநீறு பூசிக்கொண்டு சிவபூஜையை தொடங்க வேண்டும். மனத்தூய்மையோடு, சிவனுக்குரிய நாமங் களைக்கூற வேண்டும். இந்த விரதத்தின் பொழுது நமசிவாய என்ற ஐந்தெழுத்து மந்திரத்தை உச்சரிக்க வேண்டும். இரவு முழுவதும் 1008 முறை கூறினால் மகத்தான பலன் கிடைக்கும்.
வில்வம், துளசி, அருகு முதலியன பூஜைக் குரிய இலைகளாகும். தாமரை, செண்பகம், நீலோத்பவம், அத்தி முதலிய பூக்கள் பூஜைக்குரிய பூக்களாகும். வில்வப்பழம், மாதுளை, பலாப்பழம் ஆகியவை நிவேதனப் பொருட்களாக வைக்க உகந்தது.
